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光學(xué)微電子凈化工程又稱清凈室或無塵室，目前已是精密制造、半導(dǎo)體、光學(xué)制造、液晶制造、線路板制造和醫(yī)藥、生物化學(xué)、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。光電車間凈化工程是指不同級別電子廠凈化車間或電子實驗室的半導(dǎo)體、微電子、光電技術(shù)、光學(xué)儀器、PCB、食品、模具等工程。

近幾年來，因技術(shù)的創(chuàng)新發(fā)展，對于產(chǎn)品的高精密度化、細(xì)小型化的需求越發(fā)迫切，如超大型積體電路之研究制造，已成為世界各國在科技發(fā)展上極為重視的項目。按行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)要求，凈化級別從?10-30?萬級。凈化的程度也直接影響了電子產(chǎn)品制作的質(zhì)量。

一、光學(xué)微電子凈化工程一般包括哪些功能分區(qū)：

1.潔凈生產(chǎn)區(qū)

2.管理區(qū)（包括辦公、值班、管理和休息等）

3.潔凈輔助間（包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等）

二、電子潔凈實驗室凈化標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)：

根據(jù)電子潔凈室（區(qū)）空氣潔凈級別，不同等級凈化標(biāo)準(zhǔn)如下：

① 百級電子潔凈室塵粒（≥0.5μm）最大允許數(shù)為3500每立方米、≥0.5μm塵粒數(shù)為0、微生物最大允許數(shù)浮游菌為5每立方米、沉降菌為1。

② 千級電子潔凈室塵粒（≥0.5μm）最大允許數(shù)為350000每立方米、≥0.5μm塵粒數(shù)為2000、微生物最大允許數(shù)浮游菌為100每立方米、沉降菌為3。

③ 十萬級電子潔凈室塵粒（≥0.5μm）最大允許數(shù)為3500000每立方米、≥0.5μm塵粒數(shù)為20000、微生物最大允許數(shù)浮游菌為500每立方米、沉降菌為10。

④ 三十萬級電子潔凈室塵粒（≥0.5μm）最大允許數(shù)為10500000每立方米、≥0.5μm塵粒數(shù)為60000、微生物最大允許數(shù)浮游菌為1000每立方米、沉降菌為15。

三、光學(xué)微電子凈化工程換氣參數(shù)

1. 換氣次數(shù)：十萬級凈化≥15次；萬級凈化≥20次；千級凈化≥30次

2. 平均風(fēng)速：10級、100級為0.3-0.5m/s

3. 噪聲：≤65dB(A)

4. 新風(fēng)補充量：新風(fēng)補充量是總風(fēng)量的10%-30%

5. 照度：300LX

6. 壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa

7. 溫度：冬季＞16℃；夏季＜26℃；允許波動范圍為±2℃

7. 濕度：GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜，電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。

四、電子潔凈車間實驗室通用結(jié)構(gòu)材料：

1. 送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫有良好效果的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。

2. 高效送風(fēng)口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔。

3. 地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。

4. 凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點為美觀、剛性強。圓弧墻 角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造。

五、西遞電子廠/電子實驗室凈化空調(diào)方案

方案一:目前來說是最傳統(tǒng)的凈化空調(diào)設(shè)計方案。組合式空氣處理機(jī)組里含有各種功能段，如初效過濾段、混合段、表冷段、中效過濾段、二次回風(fēng)段(或中間段)加濕段、加熱段、風(fēng)機(jī)段等。其中冷源主要由冷水機(jī)組提供。

方案二:相較于方案一，方案二是比較簡單的潔凈空調(diào)設(shè)計方案。不僅可以大大地縮小機(jī)房的面積，還可以讓水冷柜機(jī)根據(jù)具體的情況布置在較小的凈化車間內(nèi)或機(jī)房內(nèi),同時還可以將增壓風(fēng)柜布置于機(jī)房內(nèi)或吊在機(jī)房內(nèi)或在夾層內(nèi)。

方案三：主要用于對室內(nèi)溫濕度精度要求不高的無塵車間,用簡易空調(diào)方案。可直接將分體空調(diào)柜機(jī)布置于車間內(nèi)，并用彩鋼圍護(hù)起來，在柜機(jī)回風(fēng)口處再在彩鋼板上開回風(fēng)口(帶初效過濾網(wǎng));風(fēng)機(jī)過濾單元FFU均勻布置于吊頂天花。